OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器在半導(dǎo)體制造行業(yè)超純水工藝上的解決方案
作者： 得銳自動(dòng)化發(fā)表時(shí)間：2023-10-07 14:10:57瀏覽量：311【小中大】
半導(dǎo)體制造行業(yè)是當(dāng)今科技領(lǐng)域的重要組成部分，對(duì)于超純水的需求量較大，要求水質(zhì)極高的純凈度，以保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。在光刻技術(shù)精度不斷縮小到10納米以下的今天，對(duì)于超純水的要求在晶圓制造過(guò)程中已...
半導(dǎo)體制造行業(yè)是當(dāng)今科技領(lǐng)域的重要組成部分，對(duì)于超純水的需求量較大，要求水質(zhì)極高的純凈度，以保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。在光刻技術(shù)精度不斷縮小到10納米以下的今天，對(duì)于超純水的要求在晶圓制造過(guò)程中已經(jīng)變得極為嚴(yán)格。超純水（UPW）是指按照極其嚴(yán)格的規(guī)格進(jìn)行凈化處理后的水，其具有特定的成分和特性，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵因素。
為了獲取符合規(guī)格等級(jí)的超純水，需要借助專(zhuān)門(mén)的拋光系統(tǒng)來(lái)處理高純水。這個(gè)過(guò)程中，超純水會(huì)通過(guò)使用超高純管道（通常也稱(chēng)為pvdf管道）進(jìn)行輸送，以去除污染物、礦物質(zhì)、微生物以及微量有機(jī)和無(wú)機(jī)化學(xué)品。隨后，符合規(guī)格等級(jí)的超純水會(huì)輸出并用于晶圓廠的各種工藝流程中，如晶圓清洗、沖洗、表面處理、濕法蝕刻、溶劑流程和化學(xué)機(jī)械平坦化等。
在這個(gè)過(guò)程中，OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器發(fā)揮著重要的作用。它可以被用于UPW拋光解決方案、存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中，確保超純水在整個(gè)輸送和處理過(guò)程中能夠得到精確的控制和分配。通過(guò)使用OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器，可以更好地確保超純水工藝的穩(wěn)定性和可靠性，進(jìn)一步提升了半導(dǎo)體制造的質(zhì)量和效率。
在半導(dǎo)體制造行業(yè)的超純水工藝中，OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器主要有以下3個(gè)方面的作用：
1. 水質(zhì)監(jiān)測(cè)：通過(guò)使用OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器配備的感應(yīng)器，對(duì)超純水的各項(xiàng)指標(biāo)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，如PH值、電導(dǎo)率、壓力、溫度等，以確保水質(zhì)達(dá)到半導(dǎo)體制造的要求。
2. 閥門(mén)控制：OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器可以精確控制超純水工藝中的各種閥門(mén)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和調(diào)節(jié)，保證工藝流程的正常運(yùn)行。
3. 流量控制：OMAL氣動(dòng)執(zhí)行器可以通過(guò)調(diào)節(jié)閥門(mén)的開(kāi)度，實(shí)現(xiàn)對(duì)超純水流量的精確控制，以達(dá)到生產(chǎn)工藝的需求。
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